Plasma-oppervlaktereiniging is een proces waarbij onzuiverheden en verontreinigingen van het monsteroppervlak worden verwijderd door het creëren van hoogenergetisch plasma uit gasvormige deeltjes. Het is ontworpen voor verschillende toepassingen zoals oppervlaktereiniging, oppervlaktesterilisatie, oppervlakteactivering, oppervlakte-energieverandering, oppervlaktevoorbereiding voor hechting en hechting, wijziging van de oppervlaktechemie.